宝山城市工业园区石墨烯功能性平台合作研究所取得重大成绩

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宝山城市工业园区石墨烯功能性平台合作研究所取得重大成绩

近日,宝山城市工业园区石墨烯功能型平台合作的中国科学院上海微系统与信息技术研究所谢晓明研究员团队在高品质石墨烯电子材料制备方面取得多项突破,获得上海市自然科学奖一等奖。

集成电路产业发展至今,芯片的主要材料一直是硅片。受摩尔定律所限,硅芯片工艺升级的难度越来越大,面临瓶颈。用新型碳材料取代硅基材料,是业界普遍看好的解决方案。石墨烯只有一个碳原子层厚度,强度极高,比表面积巨大,导热导电性能优越,与硅基材料相比有很大优势。然而,石墨烯在替代传统半导体材料道路上,也面临着许多挑战。谢晓明团队花10年工夫,掌握了石墨烯单晶晶圆可控制备技术,实现了4—8英寸单晶的小批量生产,生长速度和单晶尺寸都创造了世界纪录。

为了让这类材料尽快产业化,把这些国际一流的科研成果转化为现实生产力,上海市石墨烯产业技术功能型平台于2019年9月与中科院上海微系统所签约合作,通过建设创新实验室,实现8英寸石墨烯单晶晶圆、4英寸锗基石墨烯晶圆、大面积六方氮化硼介质薄膜的中试生产。

上海市石墨烯产业技术功能型平台由上海市和宝山区共同打造,是上海市建设具有国际影响力科创中心的四梁八柱之一,平台围绕石墨烯产业,聚焦石墨烯应用,通过政府引导,社会多元化投入,促进实验室比较成熟成果向产业技术的转化,解决产业面临的共性技术问题。作为平台大股东的上海宝山城市工业园区正在建设市级特色园区上海超能新材料科创园,园区也将成为平台的石墨烯成果的产业化落地的重要承载区。

目前,该创新实验室正在平台加紧建设,计划于今年9月完成,将中试生产8英寸石墨烯单晶晶圆等多种产品。平台还将利用自身资源,了解石墨烯晶圆产业下游需求,早日实现产品的规模化应用。

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