天虹科技取得用以感测遮蔽机构开合的薄膜沉积设备专利
金融界2025年5月23日消息，国家知识产权局信息显示，天虹科技股份有限公司取得一项名为“用以感测遮蔽机构开合的薄膜沉积设备”的专利，授权公告号CN115896732B，申请日期为2021年09月。
本文源自：金融界
作者：情报员/阅读下一篇/返回网易首页下载网易新闻客户端
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